能譜儀是一種用來對材料微區(qū)成分元素種類與含量分析的儀器，配合掃描電子顯微鏡使用。主要工作原理是根據(jù)各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來進(jìn)行成分分析的。

 能譜儀主要應(yīng)用于高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機(jī)或有機(jī)固體材料分析；金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定；對固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析； 金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領(lǐng)域。 millipore rios

        在最近的北京分析測試學(xué)術(shù)展覽會上，牛津儀器推出了一款新型能譜儀——X-Max大面積能譜探頭，這引起了參會用戶者的濃厚興趣。