1. 電子產(chǎn)品：PCB板、柔性電路板、平板顯示器、感光樹脂的剝離
2. 醫(yī)藥方面：生物材料表面處理、殺菌、組織培養(yǎng)等
3. 工業(yè)方面：高分子膜表面改性、終端安裝清洗等
主要特點(diǎn)
1. 專利化能量分布設(shè)計，美國專利號：4,887,005 / 5,190,803 / 5,228,963 / 5,48,560 / 5,733,511
2. 采用微處理器控制
3. 適合各種等離子體的處理，如清洗、表面改性和刻蝕等
4. 氣體流速精確控制和混合
5. 射頻自動匹配功能
6. 高密封的真空系統(tǒng)
主要型號：
1. 間歇式系統(tǒng)：PJ、PS-350/500
2. 客戶專用型系統(tǒng)：PS-750/2020/ 3030
3. 大批量系統(tǒng)和滾筒式系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 |
PJ
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電源要求
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115/220V, 15A
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射頻功率
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300W，13.56MHz
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射頻匹配
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自動匹配
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控制方式
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基于WindowTM的PC控制
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儀器尺寸
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60×60×30cm，35 Kg
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樣品室
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20cm直徑，25cm長
耐高溫玻璃，可選擇石英
電容耦聯(lián)，一個氣體供應(yīng)
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氣體供應(yīng)
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包括一個流速控制器
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可選附件
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氧氣供應(yīng)
水蒸氣過濾器
真空計
真空閥
真空泵
流速控制器MFC等
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型號
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PS350
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PS500
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PS750
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射頻功率
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600W，13.56MHz
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600W，13.56MHz
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600W，13.56MHz
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儀器外觀（cm）
(H×W×D)
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183×63×61
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203×63×89
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203×114×63
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樣品室（cm）（H-W-D）
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42×34×50
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53×37×68
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165×38×41
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