Hitachi日立 HD-2700球差校正掃描透射電子顯微鏡
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HD-2700球差校正掃描透射電子顯微鏡
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| 產(chǎn)品介紹： |
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HD-2700帶有球差校正的場發(fā)射掃描透射電子顯微鏡
電鏡球差校正技術的實用化，使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
HD-2700通過球差校正，用大會聚角獲得了亞納米級電子束，在分辨率和分析性能獲得重大的進步。
HD-2700共有三種型號，分別是配有球差校正的高分辨型和標準型，以及無球差校正型，可根據(jù)應用需求選擇。
特點：
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像（標準型）
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍)，可以進行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時間內獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了專用的GUI自動調節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容，提供了納米尺度的整體解決方案：從制樣到數(shù)據(jù)獲得和最終分析
5.多種評價/分析功能可選
*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(tǒng)(DF-STEM像可以同時獲得)
*實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉)
*精確的放大倍率校準功能
技術指標：
| 項目 |
描述
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分辨率
(晶格分辨率) |
1、配有球差校正的標準型 0.144nm，電子槍：冷場或熱場
2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm，電子槍：冷場
3、無球差校正型 0.204nm，電子槍：熱場 |
| 加速電壓 |
200KV |
| 放大倍率 |
100x -10,000,000 |
| 圖像模式 |
圖像模式 相襯度像(TE像)
原子序數(shù)襯度像(ZC像)
電子衍射花樣(可選)
特征X射線像(可選 ：EDX)
EELS像(可選 ：ELV-2000) |
| 電子光學 |
電子槍 場發(fā)射電子源，內置陽極加熱器
透鏡系統(tǒng) 兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡
球差校正器 六極/傳輸 雙重（標準型和高分辨型）
掃描線圈 兩級電磁線圈
電位移 0.5μm |
| 樣品桿 |
類型 側插式
移動范圍 X,Y=±1mm，T=±30°(單傾樣品桿) |
| 操作系統(tǒng) |
Windows XP |
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