Hitachi日立 S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
|
S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
|
|
|
| 產(chǎn)品介紹： |
|
S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡
● 最大可載樣品直徑達(dá)300mm
● 最大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
● 樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜-20o~+90o
● 采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵
S-3700N技術(shù)參數(shù)
| 分辨率 |
SE 3.0nm，30KV(高真空模式)
10nm， 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm，30KV（低真空模式） |
| 放大倍率 |
x5~x300，000 |
| 加速電壓 |
0.3~30KV |
| 低真空范圍 |
6~270Pa |
| 圖像電位移 |
±50μm （工作距離 10mm） |
| 最大裝載樣品 |
直徑300mm |
樣品臺(tái)
| X |
150mm |
| Y |
110mm |
| Z |
5~65mm |
| R |
360° |
| T |
-20°~90° |
| 觀測(cè)區(qū)域 |
203mm直徑 |
| 樣品最大高 |
110mm（工作距離10mm） |
| 樣品臺(tái)類型 |
優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) |
電子光學(xué)系統(tǒng)
| 燈絲 |
預(yù)對(duì)中燈絲 |
| 物鏡光闌 |
4孔活動(dòng)光闌4孔活動(dòng)光闌 |
| 槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓 |
| 探測(cè)器 |
二次電子探頭
5分割半導(dǎo)體式被散射探頭 |
| 分析位置 |
工作距離10mm，取出角35° |
顯示控制系統(tǒng)
| 控制模式 |
鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板 |
| 顯示器 |
液晶顯示器 |
| 輔助功能 |
3D動(dòng)畫演示功能
電鏡操作導(dǎo)航功能
樣品操作導(dǎo)航功能
傾斜補(bǔ)償功能 |
| 存儲(chǔ)圖像精度 |
640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840 |
| 圖片格式 |
BMP, TIFF, JPEG |
| 圖像顯示模式 |
全屏模式：1280 x 960
標(biāo)準(zhǔn)模式：640 x 480
分割模式：640 x 480 點(diǎn) x 2
信號(hào)混合模式 |
真空系統(tǒng)
| 控制模式 |
全自動(dòng) |
| 分子 |
210升/秒，一臺(tái) |
| 機(jī)械泵 |
135升/分，一臺(tái) |
| 保護(hù)措施 |
斷電保護(hù)、漏氣保護(hù) |
|