Hitachi日立 S-5500超高分辨率掃描電子顯微鏡
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S-5500超高分辨率掃描電子顯微鏡
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| 產(chǎn)品介紹： |
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S-5500超高分辨率掃描電子顯微鏡
S-5500的獨(dú)特設(shè)計(jì)可以保證0.4nm的超高分辨率，從而獲得新的信息并展現(xiàn)納米世界的秘密。
1. 新型的物鏡設(shè)計(jì)可以使其達(dá)到世界最高分辨率：0.4nm
(30kV)。同時(shí)新的控制系統(tǒng)使得超高分辨的顯微分析變得
簡(jiǎn)單易行。
2. 保證分辨率為0.4nm (30kV), 1.6nm (1kV)
3. Hitachi的專(zhuān)利技術(shù)ExB可以讓操作者優(yōu)化圖像中SE和BSE信號(hào)的比例
4. 新開(kāi)發(fā)的BF/DF雙STEM檢測(cè)器可以同時(shí)顯示BF像及DF像。在DF STEM模式中還可以改變檢測(cè)角度。(可選)
5. 電子光學(xué)系統(tǒng)的改進(jìn)可以不用改變樣品位置而同時(shí)進(jìn)行EDS分析及形貌觀(guān)察。
6. 可以使用與FIB兼容的樣品桿。
技術(shù)指標(biāo)：
| 二次電子分辨率 |
0.4nm (30kV) ；1.6nm (1kV) |
| 加速電壓 |
0.5~30kV |
| 放大倍率 |
60X ~ 10,000X (低倍模式) ；800~2,000,000X(高倍模式) |
| 電子槍 |
冷場(chǎng)發(fā)射電子源 |
| 透鏡系統(tǒng) |
3級(jí)電磁透鏡系統(tǒng) |
| 物鏡光欄 |
可變型 (4孔，在真空系統(tǒng)外進(jìn)行微調(diào)，100-50-50-30µm) |
| 消像散線(xiàn)圈 |
八極電磁線(xiàn)圈系統(tǒng) |
| 掃描線(xiàn)圈 |
2級(jí)電磁偏轉(zhuǎn)線(xiàn)圈(高倍模式) ；1級(jí)電磁線(xiàn)圈(低倍模式) |
| 樣品臺(tái) |
側(cè)插式測(cè)角臺(tái) |
| 樣品臺(tái)移動(dòng) |
X：±3.5mm, Y: ±2.0mm; Z: ±0.3mm, T: ±40° |
| 樣品尺寸 |
最大5.0mmx9.5mmx3.5mmH (Bulk)
最大2.0mmx6.0mmx5.0mmH (Cross-section) |
| 電子圖像移動(dòng) |
±5µ |
| 檢測(cè)器 |
二次電子檢測(cè)器
上部背散射電子檢測(cè)器(可選)
YAG型背散射電子檢測(cè)器(可選)
BF/DF 雙STEM檢測(cè)器(可選)
STEM檢測(cè)器(可選)
X射線(xiàn)能譜儀 (可選) |
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