Hitachi日立 SU1510掃描電子顯微鏡
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SU1510掃描電子顯微鏡
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| 產(chǎn)品介紹： |
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SU1510掃描電子顯微鏡
主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
特點(diǎn)
1. 儀器主體比過(guò)去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。
2. 標(biāo)配低真空功能，可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無(wú)噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3. 可載入最大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進(jìn)行元素分析。
4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能，可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無(wú)污染。
| 項(xiàng)目 |
內(nèi)容 |
| 二次電子分辨率 |
3.0nm（高真空，30kV） |
| 背散射電子分辨率 |
4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
| 倍率 |
5～300,000倍 |
| 加速電圧 |
0.3～30 kV |
| 樣品臺(tái) |
X 0～80 mm
Y 0～40 mm
Z 5～50 mm
T -20°～ 90°
R 360° |
| 樣品臺(tái)控制 |
手動(dòng)（可選：2軸馬達(dá)） |
| 最大載入樣品尺寸 |
直徑：153 mm |
| 最大觀察范圍 |
直徑：126 mm（XYR并用） |
| 最大樣品高度 |
60 mm（WD=15 mm） |
| 低真空范圍 |
6-270Pa(從菜單設(shè)定) |
| 燈絲 |
預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 |
4孔可變光闌 |
| 槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓 |
| 檢測(cè)器 |
二次電子檢測(cè)器，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 |
| EDX分析位置 |
WD=15,TOA=35° |
| 真空系統(tǒng) |
分子泵1臺(tái)，機(jī)械泵1臺(tái) |
| 安全措施 |
停電，漏電，自動(dòng)保護(hù) |
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