Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型熱場(chǎng)掃描電鏡
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SU6600配有VP功能的新型熱場(chǎng)掃描電鏡
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| 產(chǎn)品介紹： |
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SU6600配有VP功能的新型熱場(chǎng)掃描電鏡
日立公司為分析應(yīng)用推出的新型熱場(chǎng)掃描電鏡，可以提供200nA的探針電流，并且配置了VP功能，可以滿足不導(dǎo)電樣品的無(wú)蒸鍍觀測(cè)。
特點(diǎn):
1. 最大200nA的探針電流，可滿足EDX、WDX、EBSP、CL等應(yīng)用
2. 配有VP功能，可自動(dòng)實(shí)現(xiàn)壓差光闌的安裝和取出
3. 配有二次電子探頭和背散射探頭，可選配ESED
4. 大型分析型樣品室，可方便的安裝多種分析附件
5. 可裝載150mm直徑、40mm高樣品
6. 電腦控制的5軸優(yōu)中心馬達(dá)樣品臺(tái)
| 二次電子分辨率 |
1.2nm@30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
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| 背散射電子分辨率 |
3.5nm@30KV |
| 放大倍率 |
10~600,000（輸出尺寸127x96mm） |
| 電子槍類型 |
熱場(chǎng)發(fā)射 |
| 探針電率 |
1pA~200nA |
| 加速電壓 |
0.5~30KV |
| 物鏡光闌 |
自清潔、4孔可動(dòng)式 |
| 束閘 |
電磁式 |
| 樣品臺(tái) |
電腦控制的5軸優(yōu)中心馬達(dá)樣品臺(tái) |
| X |
0~110mm |
| Y |
0~110mm |
| Z |
4~40mm |
| T |
-5°~+70° |
| R |
360° |
| 最大樣品尺寸 |
直徑150mm x 高40mm |
| 探頭 |
二次電子探頭
背散射電子探頭 |
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