Jobin Yvon Auto SE 一鍵式薄膜測(cè)量工具
|
Auto SE 一鍵式薄膜測(cè)量工具
● 薄膜分析變得輕松簡(jiǎn)單
● 高性能系統(tǒng)
● 獨(dú)一無(wú)二的光斑可視系統(tǒng)(專利技術(shù))
● 多種附件選擇
● 智能診斷
Auto SE—讓您的例行測(cè)量工作不再枯燥!
● Auto SE是一種新型的按鍵式全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具，
僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鍵操作，即可完成全自動(dòng)測(cè)量和分析。
● 僅幾秒鐘即可完成樣品分析，并提供完整的樣品堆疊
特性報(bào)告-包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄
膜的不均勻性。
● Auto SE 是一種高性能系統(tǒng)，它包括XYZ自動(dòng)樣品臺(tái)、測(cè)
量點(diǎn)實(shí)時(shí)成像和光斑尺寸自動(dòng)選擇功能，其各種各樣的附
件可滿足用戶對(duì)多種應(yīng)用的需求。
● Auto SE借助完整的操作向?qū)?，自?dòng)檢測(cè)并診斷問(wèn)題、同
時(shí)提供完整的操作指南，實(shí)現(xiàn)對(duì)故障進(jìn)行輕松處理。
● 便捷的操作性能和大量自動(dòng)化特性，使得 Auto SE 成
為一種可用于常規(guī)薄膜測(cè)量和質(zhì)量控制的理想設(shè)備。
Auto SE—附件
Auto SE 是一種多功能儀器。它能夠提供多種附件來(lái)滿足不同的實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域和樣品形狀的測(cè)量要求。
● 用于簡(jiǎn)單的樣品操作：塑料薄膜架、彎曲樣品架、自動(dòng)換樣器。
● 用于不同的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)類型：透射率、360度旋轉(zhuǎn)控制。
● 用于不同的樣品測(cè)試條件：液體池、電化學(xué)池、控溫池。
Auto SE—技術(shù)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)配置
| 光源 |
鹵素?zé)艉退{(lán)色LED |
| 光譜范圍 |
440-850 nm |
| 光斑尺寸 |
>500μm; 500μm x 500μm; 250μm x 500μm
250μm x 250μm; 70μm x 250μm
100μm x 100μm; 50μm x 60μm; 25μm x 60μm |
| 探測(cè)器 |
CCD-分辨率: 2 nm |
| 樣品臺(tái)尺寸 |
200mm x 200mm; XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié)
真空檢測(cè); Z軸高度50mm |
| 觀測(cè)樣品 |
CCD-視場(chǎng)范圍1.33*1 mm 分辨率10μm |
| 量角器 |
固定在70度-可預(yù)設(shè)為66度或61.5度 |
可選附件
| 附件 |
樣品池：溫度池、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池
樣品臺(tái)：自動(dòng)換樣器、360度旋轉(zhuǎn)控制、
傳動(dòng)架、塑料薄膜支架、透鏡和彎曲樣品支架 |
| 微光斑 |
光斑尺寸<100x100μm時(shí)需要氙燈 |
| 桌子 |
尺寸 (寬 x 深 x 高) ：1400-1840 x530x740 mm |
性能指標(biāo)
| 測(cè)試時(shí)間 |
<1 秒，通常為5秒 |
| 精確度 |
NIST 1000 Å SiO /Si: d±4 Å - n(632.8 nm) ± 0.002
Fused silica: n ±0.004 |
| 重復(fù)性 |
尺寸 (寬 x 深 x 高) ：1400-1840 x530x740 |
設(shè)備要求
| 操作系統(tǒng) |
Windows 2000/XP/Vista |
| 電源 |
100V / 115V / 230V ; 200 W ; 50 / 60 Hz |
| 標(biāo)準(zhǔn) |
CE |
|