Jobin YvonGD-Profiler 系列輝光放電光譜儀
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GD-Profiler系列輝光放電光譜儀
——超快元素深度分布分析工具
● RF射頻發(fā)生器- 標準配置，可進行元素總量分析，分析時間約
為90秒，分析速度比其他表面分析技術(shù)快上100倍；濺射率一般
為3µm/min；
● 實現(xiàn)從1nm至深達150µm的元素深度分布分析；
● 射頻輝光放電光譜的靈敏度為10 原子/cm ；
● 一次激發(fā)可以同時分析所有元素（包括H, O, Cl等） ；
● 脈沖射頻設(shè)計的光源為導(dǎo)體、非導(dǎo)體、薄膜、涂層、合金、陶瓷、
粉末等類型的物質(zhì)提供了廣闊的分析應(yīng)用前景；
● 多道(同時)型光學(xué)系統(tǒng)可全譜覆蓋，光譜范圍：110nm至800nm，包含遠紫外；
● 低至0.3L/分鐘的氬氣消耗降低了分析成本；
● 獨有的單色儀(選配件)可極大的提高儀器的靈活性，即能實現(xiàn)n+1通道分析；
● 專利HDD 檢測器可進行快速而高靈敏的檢測，動態(tài)范圍達到10個量級；
● 寬大的樣品室方便各類樣品的加載；
● 激光指點器(CenterLite laser pointer，專利申請中)可用于精確加載樣品。
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