UVISEL遠(yuǎn)紫外到近紅外的光譜型橢圓偏振儀

UVISEL—相調(diào)制技術(shù)

●   采用光彈性晶體來(lái)調(diào)制偏振光，而不是傳統(tǒng)橢偏技術(shù)中的機(jī)械偏光裝置
●   能在全譜范圍內(nèi)測(cè)得非常準(zhǔn)確的橢偏角(Y, D)，從而可以對(duì)透明襯底、超
     薄薄膜和折射率接近的樣品進(jìn)行高精度和高靈敏度的特性分析。
●   能夠進(jìn)行先進(jìn)的參數(shù)測(cè)量，包括極化度、各向異性以及Mueller矩陣元素
     的確定。高達(dá)1毫秒/每數(shù)據(jù)點(diǎn)的快速數(shù)據(jù)采集速率，使得UVISEL成為動(dòng)
     態(tài)研究和液態(tài)表面測(cè)量的理想解決方案。

UVISEL—遠(yuǎn)紫外至近紅外的寬光譜范圍

●   覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍
●   UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL  NIR: 245-2100 nm
      | UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 142-880 nm

UVISEL—模塊化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)靈活配置

●   UVISEL提供一系列的自動(dòng)選件和附件來(lái)增強(qiáng)系統(tǒng)的功能
●   模塊化的設(shè)計(jì)可以離線(xiàn)、在線(xiàn)檢測(cè)甚至為減小占地面積和滿(mǎn)足超凈間要求而集成到一個(gè)機(jī)柜中
●   包含成熟的光譜型