在局域網(wǎng)上可被遠(yuǎn)程訪問 大屏幕液晶顯示用閃存增強(qiáng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)性能 優(yōu)化的設(shè)計(jì)加強(qiáng)了電路的通用性和集成性
易于維護(hù)的內(nèi)部布局 配有質(zhì)量流量稀釋系統(tǒng) 配有產(chǎn)生O3和NO2的氣相滴定裝置 可配產(chǎn)生SO2，NO2，H2S，NH3等氣體的滲透爐 可配紫外光度計(jì)
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流量測(cè)量準(zhǔn)確度
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±2%讀數(shù)或1%滿度值，以較低者為準(zhǔn)（20至100%滿度值）
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流量測(cè)量線性
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0.5%滿度值
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流量測(cè)量重復(fù)性
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±2%讀數(shù)或1%滿度值，以較低者為準(zhǔn)（20至100%滿度值）
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零氣流量
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5或10（標(biāo)準(zhǔn)）或20 slm
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標(biāo)氣流量
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50或100（標(biāo)準(zhǔn)）或200 sccm
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滲透爐溫度
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30℃或35℃或45 ℃ ±0.1℃
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臭氧源輸出濃度
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6 ppm-liters(穩(wěn)定性和重復(fù)性滿足或超過U.S.EPA的要求)
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