考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄 |
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。專(zhuān)用150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。 |
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 |
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類(lèi)型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。 |
鮮明圖像和卓越的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)卓越的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的卓越性能。
軟件方案
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？筛鶕?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線(xiàn)觀察單元
由可見(jiàn)光線(xiàn)領(lǐng)域到近紅外線(xiàn)領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線(xiàn)用超廣角三目鏡筒等，備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線(xiàn)觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
透射照明單元
透射照明單元 |
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。
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| 工業(yè)檢測(cè)顯微鏡 MX51 規(guī)格 |
| 光學(xué)系統(tǒng) |
UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正） |
| 機(jī)身 |
觀察方法 |
明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 |
| 反射/透射 |
反射/透射 |
| 照明裝置 |
明暗視場(chǎng)反射照明管（明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光） |
| 通用反射照明管（明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光） |
| 照明系統(tǒng) |
反射照明 |
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
| 透射照明 |
纖維光導(dǎo) |
| 對(duì)焦單元 |
電動(dòng)/手動(dòng) |
手動(dòng) |
| 行程 |
32 mm |
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 |
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm |
| 最大樣本高度 |
30 mm |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 |
電動(dòng)型 |
明視場(chǎng)微分干涉6孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 |
| 手動(dòng)式 |
明視場(chǎng)5孔 |
| 明視場(chǎng)微分干涉6孔 |
| 明視場(chǎng)微分干涉中心輸出6孔 |
| 明視場(chǎng)微分干涉7孔 |
| 明暗視場(chǎng)5孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 |
| 載物臺(tái) |
行程 |
6×6英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm （透射照明范圍100×100 mm） |
4×4英寸右下（左下）手柄：
100（X）×105（Y）mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?6×96 mm） |
| 觀察筒 |
廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22） |
倒置 |
雙目/三目觀察筒 |
| 正像 |
三目觀察筒 |
| 超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5） |
倒置 |
三目觀察筒 |
| 正像 |
傾斜三目觀察筒 |
| 附件單元 |
DUV單元/IR單元/自動(dòng)裝載 |
| 外形尺寸 |
430（W）×591（D）×495（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） |
| 重量 |
26 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） |