多種型號可選: EGN1;EGN4;EGCO4;H-PEB4
單電源供電，四種材料共蒸發(fā)下各種材料蒸發(fā)速率獨(dú)立可調(diào)。根據(jù)應(yīng)用需要，多數(shù)材料
蒸發(fā)速率可控低與0.1A/min 或高于300A/min
*高效直接水冷源體，低系統(tǒng)熱載避免環(huán)境放氣及粒子生成
*蒸發(fā)材料可為棒材或粉抹
*多元蒸發(fā)材料源體設(shè)置防交叉污染隔板及擋板，手動和自動控制模式可選
*實(shí)時蒸發(fā)束流的監(jiān)測和控制