人機工程學(xué)設(shè)計，操作方便
- 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
- 分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。
堅固、可靠和安全傳送
- 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
- 薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。
- 宏觀觀察位置的最優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。
專用宏觀照明裝置
專用宏觀照明裝置 |
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。 |
| 自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規(guī)格 |
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AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
| 晶圓尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm |
| 卡盒 |
●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開門標(biāo)準(zhǔn)夾
●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品
●FIMS-FOSB, FOSB |
●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開門搬運盒
●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品 |
| 卡盒數(shù) |
單盒（裝載、卸載兼用） |
| 卡盒設(shè)置高度 |
900 mm |
| 裝載端口 |
有 |
無 |
| 搬運順序 |
表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 |
| 檢查模式 |
全部檢查、抽樣檢查 |
| 晶圓校準(zhǔn) |
非接觸式中心環(huán) |
| 晶圓搬運方式 |
真空吸附機械搬運 |
| 適用顯微鏡 |
半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L |
| 應(yīng)用環(huán)境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa |
| 載物臺 |
XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構(gòu) |
| 重量（不包括顯微鏡） |
約360 kg |
約270 kg |